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最低5nm 中國長城宣布推出全自動 12 寸晶圓激光開槽設(shè)備

   2022-04-09 建材之家IT 之家9960
核心提示：最低5nm 中國長城宣布推出全自動 12 寸晶圓激光開槽設(shè)備昨日，中國長城官微宣布，公司旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院在研制半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)和基礎(chǔ)上，推出了支持超薄晶圓全切工藝的全自動 12 寸晶圓激光開槽設(shè)備。該設(shè)備除了具備常規(guī)激光開槽功能之外，還支持 5nm DBG 工藝、120 微米以下超薄 wafer 全切……
最低5nm 中國長城宣布推出全自動 12 寸晶圓激光開槽設(shè)備

昨日，中國長城官微宣布，公司旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院在研制半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)和基礎(chǔ)上，推出了支持超薄晶圓全切工藝的全自動 12 寸晶圓激光開槽設(shè)備。該設(shè)備除了具備常規(guī)激光開槽功能之外，還支持 5nm DBG 工藝、120 微米以下超薄 wafer 全切割功能、晶圓廠 IGBT 工藝端相關(guān)制程和 TAIKO 超薄環(huán)切等各種高精端工藝。

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